日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置,用于寬廣范圍的流量控制,其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標準)。
日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器產品簡介:
HORIBA STEC質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準確測定時,須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在須對流量進行準確計測和控制的領域,質量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微電子加工制造業(yè)等。
提供多氣體,多量程的解決方案,是銷量很多的氣體質量流量控制器。高精度,快速響應,輕巧的尺寸。全金屬密封,橡膠密封
適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途:在普通產業(yè)市場中,擁有眾多的銷售業(yè)績,低成本:產品系列中有力求具有成本優(yōu)勢的型號:SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60
用于寬廣范圍的流量控制,其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標準)
日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器應用領域:
化工/石化/石油/天然氣
醫(yī)藥/生命科學
食品飲料
LED FPD
冶金
電力能源及水處理
造紙
環(huán)境保護及控制
汽車
半導體/光伏
微電子
EPC及系統(tǒng)集成商